综合纳米系统研究设施

新的Inrf工具

InRF洁净室现在提供以下工具。

Cha Mack 50蒸发Cha Mark 50蒸发
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Cha Mark 50系统已成为高真空沉积系统的行业标准。简单的设计,易于操作和无与伦比的可靠性使得MARK 50为广泛的应用,从计算机控制到手动操作,从生产运行到纳米级研发研究。标记50的水平32“乘32”水冷圆柱形室简化了装载和卸载。

用于培训和额外信息,联系莫凯贝里

第一个纳米炉(EasyTube 3000系统)第一个纳米炉(EasyTube 3000系统)
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该工具是最先进的可定制化学气相沉积/退火处理工具,用于纳米材料合成,薄膜沉积和退火。EasyTube®3000能够合成包括单壁或多壁纳米管,石墨烯,纳米线,如Si,Ge,ZnO,GaN,BN和薄膜,如Si,SiO2和Si3N4的薄膜氢化物,液体和/或固体前体的选择组合。该系统也可以定制用于退火,硒化和/或硫化应用。

用于培训和额外信息,联系杰克他

原子层沉积系统原子层沉积系统
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该工具配有高速气动脉冲阀,以使我们的独特暴露模式™能够在超高纵横比基板上进行薄膜沉积。该经过验证的精密薄膜涂层方法可用于将共形,均匀的薄膜沉积在具有大于2000:1的宽高比的底物上。该系统配备了加热的前体系,并选择加热多达六条前体线。

用于培训和额外信息,联系莫凯贝里