综合纳米系统研究设施

视频教程和演示

有时你只需要看到要了解的东西。这些视频将帮助您了解进入洁净室设施的标准程序以及如何安全妥善操作工具。您也可以查看我们的YouTube Channel.查看视频。

带有的视频CC.图标有字幕,可以通过单击YouTube播放器中的图标在视频中的任何点。

进入洁净室

在进入洁净室之前,您需要确保您准备安全地输入并正确进入!Carlos带您通过进入Inrf / Bion洁净室的标准程序。涵盖的主题包括登录,正确,安全地放在您的洁净室套装等上。

标准作业程序


Ushio Inc.照片粘合系统


Trion ICP / RIE干蚀刻


XeF2脉冲蚀刻器


Cha Mark 50蒸发


第一个纳米炉


应用MST MVD 100 CC.


原子层沉积 CC.


电子梁1蒸发
介绍和装载程序


电子梁1蒸发
运行和卸载


Karl Suss MA6面罩对齐器


STS系统Drie.

补充视频


光刻介绍 CC.


热板和烤箱
适当的程序和安全


Karl Suss MA6面罩对齐器
背面和顶部对齐


STS系统Drie. CC.
将基材加载到蚀刻室中


XeF2脉冲蚀刻器
如何准备样本