综合纳米系统研究设施

服务

集成的纳米系统研究设施是一个9,600平方英尺的100 / 1,000 / 10,000洁净室,配备了用于微型和纳米制造的所有主要装置。作为INRF的用户,您可以提供灵活的洁净室接入,各种加工设备,材料和化学品。此外,INRF还提供愿意协助需要处理的研究人员的培训和技术人员。

INRF技术人员还可以为预定费用进行基本的微制造操作。这些操作仅按计划执行。服务包括:

  • 单面光刻
    晶圆材料直径小于4,Shipley 1827光致抗蚀剂,单个面罩(由用户提供),Karl Suss对齐器
  • 金属化
    标准金属包括金,钛,铬,镍。仅电子束或热蒸发。
  • 等离子体蚀刻
    仅氧化硅或氮化硅的反应离子蚀刻。厚度小于1微米。也进行了聚合物的氧气蚀刻。

可以执行其他服务,但必须与INRF工作人员讨论工作的细节。INRF不执行设计工作或流程开发。鼓励寻求这些服务的客户联系Inrf教师团体直接成立一个研究项目。伟德betvicror2021足球欧洲杯买球平台

如果您有兴趣了解更多关于在Inrf提供的服务的信息,请通过我们发送电子邮件给我们联系表。如果您需要报价进行微型制作作业,则可以访问我们的铸造形式