集成纳米系统研究设施

材料

以下物料及用品由国际射频协会提供作一般用途,或作公众一般用途设备之用。这些材料只能供INRF用户在洁净室内使用。使用时必须遵守INRF有关安全、正确使用、储存和处置的所有政策。它们不能从INRF洁净室移走。用品必须清洁,并在使用完毕后放回储存位置。

大多数INRF用品都有INRF标签。此外,INRF还提供材料,如晶圆等从INRF商店购买。

一般物资

  • 防护眼镜
  • 氯丁橡胶手套
  • 丁腈手套
  • 乳胶手套(无粉)
  • 洁净室服装

溶剂

  • 丙酮
  • 甲醇
  • 异丙醇

  • 氢氟酸
  • 硫酸
  • 盐酸
  • 硝酸
  • 醋酸
  • 磷酸

其他化学物质

  • 液态氮
  • 过氧化氢
  • 氢氧化铵
  • 酸钾氢氧化

特种化学品

  • AZ400K开发人员
  • mf - 319
  • SU-8开发人员
  • 氯苯

气体

  • 氧气
  • 硅烷
  • CHF3
  • CF4
  • Cl
  • BCl3