集成纳米系统研究设施

光刻技术


佳能i4 4000步进
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FEI SEM /电子束作家
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卡尔苏斯MA6面具对准器
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Karl Suss MJB-3掩模对准器
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Kasper掩模对准器型号3001
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Quintel光刻机
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紫外线照射系统
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Solitec纺纱机型号5110-CT
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Solitec纺丝机5110-ND型
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Solitec纺纱机型号5110-C-TD
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HMDS烤箱
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Laurell光刻胶转轮
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