综合纳米系统研究设施

扩散炉子


6“干燥和湿氧化管
相片

4“干氧化管
相片

4“长退火管
相片

4“烧结管
相片

4“硼管
相片

2“纳米炉管
相片|SOP.

4“最小浆管
相片

Hourmpulse 610 RTA
相片

阳极粘接炉
相片