综合纳米系统研究设施

沉着


原子层沉积(ALD)
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Cha Mark 50蒸发
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Cha热蒸发
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电子梁1蒸发
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电子束2蒸发
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PE 4400溅射
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PE 2400溅射a
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PE 2400溅射B.
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