集成纳米系统研究设施

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HS200共焦显微镜/轮廓仪
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Dektak 3表面光度仪
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Dektak XT表面光度仪
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Tencor flx - 2320 a
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Filmetrics F40
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加特纳椭圆计
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SEM Hitacht S4700 / EDAX
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图西米斯815B系列C CPD
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